材料牌号(点击牌号进入基板产品) ST HR HP A-99 A-99.6 A-99.9 3Y-ZrO₂ ZTA ALN
AI₂O₃含量 wt % >96% >90% >99.3% >99% >99.6% >99.9% ZrO₂ AI₂O₃/ZrO₂ ALN
外观 白色 白色 白色微黄 白色微黄 白色 白色 白色微黄 白色微黄 浅灰色
粗糙度 Ra μm 0.2~0.6 0.2~0.5 0.1~0.3 0.15~0.4 0.1~0.3 0.1~0.2 0.1~0.2 0.1~0.2 0.2~0.6
密度 排水法 g/cm³ ≥3.70 ≥3.75 ≥3.90 ≥3.80 ≥3.90 ≥3.90 ≥6.0 ≥4.10 ≥3.30
光反射率 450nm/1mm % 94 ≥98 90 85 / / / 97 /
机械性能 抗弯强度 三点拐弯 MPa >380 >380 >470 >400 >470 >500 ≥800 >650 >380
断裂韧性 压痕法 MPa·m½ 3.0 3.0 3.2 3.2 3.2 3.2 7 4.0 3.0
维氏硬度 载荷4.9N GPa 14 14 15 15 16 16 12 15 12
杨氏模量 拉伸法 GPa 330 330 350 350 350 350 220 310 320
热性能 热膨胀系数 25~800℃ ×10⁻⁶/k 7.8 7.7 7.8 7.9 7.9 7.9 10.5 8.0 5.2
热导率 25℃ W/(m·k) >22 >22 >28 >27 >29 ≥29 ≥25 >27 >170
比热 25℃ J/(kg·k) 750 750 780 780 780 780 500 720 720
电性能 介电常数 1MHz,25℃ - 9.4 9.4 9.8 9.8 9.8 9.8 30.0 10.4 9.0
介电损耗 1MHz,25℃ ×10⁻⁴ ≤3 ≤3 ≤2 ≤3 ≤2 ≤2 / ≤3 ≤2
体积电阻率 25℃ Ω·cm ≥10¹⁴ ≥10¹⁴ ≥10¹⁵ ≥10¹⁵ ≥10¹⁵ ≥10¹⁶ ≥10¹³ ≥10¹⁴ ≥10¹⁴
击穿电压 DC KV/mm ≥15 ≥15 ≥15 ≥15 ≥15 ≥15 ≥11 ≥15 ≥15
陶瓷基板尺寸规格与精度标准(单位:毫米)
项目 品种 模压片 激光加工片
合格 优级 合格 优级 顶级磨边
长度公差 d≤0.635 ±0.7%
Min ±0.10
±0.5%
Min ±0.05
+0.20
-0.05
+0.15
-0.05
+0.10
-0.05
0.635<d≤1.0 +0.25
-1.00
+0.20
-0.05
1.0<d≤1.2 +0.30
-0.10
+0.25
-0.10
厚度公差 ±10%
Min:±0.06
±7%
Min:±0.05
±10%
Min:±0.05
±7%
Min:±0.05
压痕划线或孔间距公差 ±0.6%
Min:±0.10
±0.5%
Min:±0.05
±0.05 ±0.05
孔径公差 ±0.8%
Min:±0.06
±0.7%
Min:±0.05
±0.075(d≤0.635) ±0.05(d≤0.635)
±0.075(d>0.63)
线或孔到边缘间距公差 d≤0.635 ±0.6%
Min:±0.10
±0.5%
Min:±0.05
+0.15
-0.05
+0.15
-0.05
+0.10
-0.05
0.653<d≤1.0 +0.20
-0.05
+0.20
-0.05
1.0<d≤1.2 +0.25
-0.10
+0.25
-0.10
翘曲度 0.3%
Min: 0.10
0.2%
Min: 0.05
0.3%
Min: 0.05
0.2%
Min: 0.05
0.2%
Min: 0.05
垂直度 ±0.4%
Min: ±0.10
±0.3%
Min: ±0.05
包括在外围长宽尺寸公差内
平行度 ±0.4% ±0.3%
圆角半径公差 Min::±0.2 Min::±0.2 - - -
厚度:最薄0.2mm,最厚3.0mm
最大长度420mm,最大宽度240mm
最小孔径0.07mm
孔或线到边缘最小距离0.8mm
孔间最小距离0.8mm

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